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磷化鈮薄膜在超薄線路制造中展現潛力  有助解決電子產品能耗問題

2025年01月15日09:30 | 來源:科技日報
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據發表在《科學》雜志上的一項最新研究,美國斯坦福大學研究人員首次發現一種非晶體材料磷化鈮,在制造芯片上的超薄線路時,隻有幾個原子厚的磷化鈮薄膜導電能力比銅更好。此外,這種薄膜可在較低溫度下沉積生產,與現代計算機芯片相兼容。這種新材料在未來的納米電子學領域極具潛力,有望帶來功能更強、更節能的電子產品,幫助解決當前電子產品中的電力和能耗問題。

帶有超薄磷化鈮線路圖案的芯片。圖片來源:美國斯坦福大學

帶有超薄磷化鈮線路圖案的芯片。圖片來源:美國斯坦福大學

隨著計算機芯片越來越小、越來越復雜,在芯片中傳輸電信號的超薄金屬線已成為一個薄弱環節。隨著線路更細更薄,標准金屬線的導電能力會變差,最終限制納米級電子產品的尺寸、效率和性能。

而新型導體磷化鈮是拓扑半金屬,其整個材料都可導電,但外表面比中間導電性更好。隨著磷化鈮薄膜變薄,中間部分收縮,但其表面積不變甚至更大,更好的表面導電能力使整個材料成為更好的導體。另一方面,銅等傳統金屬一旦薄於50納米,導電能力會變得更差。

研究人員發現,即使在室溫下工作,磷化鈮在薄膜厚度低於5納米時,導電性也比銅更好。在這種尺寸下,銅線難以跟上快速發射的電信號,並耗散更多的熱能。

此前,研究人員一直在尋找可用於納米電子領域的導電材料,但到目前為止,最好的候選材料都有極其精確的晶體結構,要在非常高溫度下才能形成。此次研究制造的磷化鈮薄膜,有望成為更理想的導體,也為探索利用其他拓扑半金屬制造超薄電路鋪平了道路。

研究顯示,磷化鈮薄膜可在相對較低溫度下形成。在400℃下,研究人員可將磷化鈮沉積為薄膜,這一溫度可避免損壞或破壞現有的硅計算機芯片。

研究人員指出,磷化鈮薄膜並不會快速取代所有計算機芯片中的銅,在制造較厚線路和電線時,銅仍然是更好的選擇,而磷化鈮更適用於最薄處的連接。

(責編:林凡巽、Sun Zhao)

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